规格

仪器型号

VMS-6320F

工

作

台

金属台尺寸(mm)

500*330

玻璃台尺寸（mm）

350*250

运动行程（mm）

300*200

仪器重量（kg）

140

外形尺寸（mm）

760*600*900

Z轴升降行程

200mm（特殊定制达400mm）

X、Y、Z数显解析度

0.5μm

工作距离

92mm

X、Y坐标示值误差

(2.5+L/100) μm (L为被测长度，单位：mm)

   影

   像

   系

   统  

摄像机

1/3”彩色CCD摄像机

变倍镜头倍率

0.7X—4.5X

物方视场

8.1mm—1.3mm

视频倍率

26.6—171X（19.5”显示器，分辨率1440*900）

光源系统

表面光源与透射光源均用LED，亮度可调